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中图仪器3D光学轮廓仪器能够以优于纳米级的分辨率测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、微观几何轮廓、平整度、曲率等，应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

w1光学3D表面轮廓仪的X/Y方向标准行程为140*100mm，满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。测量三维形貌的系统原理是在视场范围内从样品表面底部到顶部逐层扫描，获得数百幅干涉条纹图像，找到该过程中每一个像素点处于光强大时的位置，完成3D重建。

中图仪器光学轮廓仪W系列采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高。能够以优于纳米级的分辨率，测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

中图仪器SuperViewW1光学检测设备轮廓仪主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓尺寸，此外具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器SuperViewW系列高精密光学轮廓仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。

SuperViewW1半导体光学轮廓测量仪器用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。是以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。