SuperViewW1白光干涉光学轮廓仪系统可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点。
中图仪器的CEM3000台式SEM扫描电镜的框架尺寸还有所缩小,具有更高的易用性,要坚固耐用得多。它具有高度的灵活性和丰富的功能,包括多种检测器、附件,可以满足广泛的研究和工业需求,包括半导体芯片失效分析。无论样品尺寸、重量、导电性如何,扫描电镜都可以让您轻松应对挑战,获得出色的SEM图像和SEM分析结果。
中图台阶仪厂家采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
SuperViewW纳米级光学轮廓白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
CEM3000扫描电镜能谱仪无需占据大量空间来容纳整个电镜系统,这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上,在用户手边实时呈现所得结果。此外,该系列台式电镜也可以进入手套箱、车厢还是潜水器等狭小空间内大显身手。
NS系列亚纳米级垂直分辨率台阶仪台阶高度重复性能低于5A,Z0向测量量程可到1050um。最高垂直分辨率可达亚埃米级,且垂直方向动态比率高,可以获取表面轮廓形貌、粗糙度、波纹度、形状误差及其它一些形貌特征等综合信息。探针物理接触测量结果稳定可靠,重复性好,精准拿捏测量的轮廓形貌细节。