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中图仪器3d光学影像轮廓测量仪是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。它以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。

SuperViewW1光学表面轮廓仪器通过利用接触式及非接触式双模式基于技术上的优势获得全面的表面特性。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。

中图仪器SuperView W1非接触三维表面轮廓测量仪器主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓，此外还具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。

SuperViewW1非接触3d光学轮廓仪能够以优于纳米级的分辨率，测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

从检测效果和操作简便上来看，w系列光学表面轮廓仪是比较有优势的产品?？梢圆獾?2mm，也可以测到更小的尺寸，xy载物台标准行程为140*110mm（可扩展），局部位移精度可达亚微米级别，镜头的横向分辨率数值可达0.4um，Z向扫描电机可扫描10mm范围，纵向分辨率可达0.1nm级别，因此可测非常微小尺寸的器件。

要想测量物体整个区域的表面情况，只能用自动拼接测量功能，但耗时较多。中图仪器3d光学表面轮廓检测仪的自动多区域测量功能，能在样品表面抽取多个测量区域进行测量，从而对样品进行评估分析。