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?中图仪器非接触式3d光学轮廓仪SuperViewW1能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。非接触高精密测量方式，不会划伤甚至破坏工件，而且测量速度快，不必像探头逐点进行测量。对高深宽比的沟槽结构，可以快速而准确的得到理想的测量结果。

中图仪器三维光学表面轮廓测量仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析，可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

中图仪器OP光学轮廓仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。是以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数的光学测量仪器。

中图仪器SuperViewW1三维光学表面轮廓仪以白光干涉技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。

SuperViewW1光学轮廓仪除了用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，还具有测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。测量速度快，不必像探头逐点进行测量，非接触高精密测量也不会划伤甚至破坏工件。特别对高深宽比的沟槽结构，可以快速而准确的得到理想的测量结果。

中图仪器光学表面3d轮廓测量仪以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器，用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。