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SuperViewW1轮廓粗糙度光学测量仪以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。

SuperViewW1轮廓度光学测量仪是以白光干涉技术为原理，能以亚纳米级精度测量从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器?？刹飧骼啻映饣酱植?、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

中图仪器3D轮廓光学测量仪测量大尺寸样品时支持拼接功能，将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致，可达0.1um?？刹飧骼啻映饣酱植?、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

在同等系统放大倍率下，以白光干涉技术为原理的SuperViewW1三维光学轮廓仪的检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级超精密加工领域提供高精度检测功能。

中图仪器SuperViewW1白光3D轮廓仪非接触高精密测量方式，不会划伤甚至破坏工件，且测量速度快，不必像探头逐点进行测量。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描?？?、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，可测量各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

中图仪器3d三维光学轮廓仪能对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。