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中图仪器SEM超清扫描电镜品牌采用钨灯丝电子枪，可以在相对较低的真空度下工作，通常只需要两级真空泵系统获得 0.001Pa 左右的真空度即可满足要求，而不需要像场发射电子枪那样的超高真空环境，这不仅降低了真空系统的复杂度和成本，还缩短了抽真空的时间，提高了工作效率。

中图仪器VT6000系列白光干涉共聚焦显微镜光源采用白光LED，以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，保证仪器的高测量精度。

NS系列膜厚台阶仪其线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。

CEM3000系列钨灯丝扫描电子显微镜采用的钨灯丝电子枪控制相对简单，操作容易上手，不需要专业的、长时间的培训即可掌握其基本操作技能，适合广大用户使用，尤其是对于那些没有深厚电子显微镜操作经验的初学者或非专业技术人员来说，更容易快速熟悉和使用设备，开展相关的检测和研究工作。

中图仪器CEM3000高分辨率科研台式扫描电镜用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析。不同于立式电镜，CEM3000系列台式扫描电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统，这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上，在用户手边实时呈现所得结果。

SuperViewW桌面式白光干涉光学轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。