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SuperViewW1光学轮廓仪除了用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，还具有测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。测量速度快，不必像探头逐点进行测量，非接触高精密测量也不会划伤甚至破坏工件。特别对高深宽比的沟槽结构，可以快速而准确的得到理想的测量结果。

中图仪器光学表面3d轮廓测量仪以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器，用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。

?SJ5700接触式轮廓测量仪可测量各种精密机械零件的粗糙度和轮廓形状参数，广泛应用于机械加工、汽车、轴承、机床、模具、精密五金、光学加工等行业。仪器依据GB/T 19600-2004、GB/T3505-2009、GB/T6062-2009、GB/T10610-2009、JJF1105-2003等国家标准及ISO5436、ISO11562国际标准制造。

SJ5700表面轮廓测量仪可测圆弧半径、直线度、凸度、沟心距、倾斜度、垂直距离、水平距离、台阶等形状参数。还可对各种零件表面的粗糙度进行测试；可对平面、斜面、外圆柱面、内孔表面、深槽表面、圆弧面和球面的粗糙度进行测试，并实现多种参数测量。

中图仪器3D光学轮廓仪器能够以优于纳米级的分辨率测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、微观几何轮廓、平整度、曲率等，应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

w1光学3D表面轮廓仪的X/Y方向标准行程为140*100mm，满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。测量三维形貌的系统原理是在视场范围内从样品表面底部到顶部逐层扫描，获得数百幅干涉条纹图像，找到该过程中每一个像素点处于光强大时的位置，完成3D重建。