SuperView W1白光干涉仪——微观形貌测量利器
2021-08-11
近年来,在新兴技术的高速发展和强力推动下,超精密加工技术不断发展和进步。微机电系统、微光学元件等微观结构的制造与发展,对微结构表面形貌测量的高精度和高可靠性等要求日渐提高。表面形貌不仅对接触部件的机械与物理特性产生影响,而且也会影响非接触表面的特性,如光学器件的反射等等。对结构的测量是对结构加工的先决条件和质量保证,所以表面形貌的测量在材料和工程零部件的属性和功能方面起着至关重要的作用,由此对于微纳结构的测量方法精度要求越来越高,表面形貌测量技术在技术成熟方面和应用范围方面都...