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NS系列探针式轮廓仪台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

NS系列探针式台阶仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，可测量沉积薄膜的台阶高度、抗蚀剂（软膜材料）的台阶高度等。

NS系列高重复性大量程台阶仪台阶高度重复性能低于5A，Z0向测量量程可到1050um。最高垂直分辨率可达亚埃米级，且垂直方向动态比率高，可以获取表面轮廓形貌、粗糙度、波纹度、形状误差及其它一些形貌特征等综合信息。探针物理接触测量结果稳定可靠，重复性好，精准拿捏测量的轮廓形貌细节。

中图仪器NS系列探针式电池薄膜台阶厚度仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，可测量沉积薄膜的台阶高度、抗蚀剂（软膜材料）的台阶高度等。

NS系列薄膜台阶测厚仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，可测量沉积薄膜的台阶高度、抗蚀剂（软膜材料）的台阶高度等。

NS系列半导体台阶高度测量仪器可精准测量台阶高度（纳米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等参数）、膜层厚度及应力分布，为材料研发、工艺优化与质量管控提供可靠数据支持。广泛应用于半导体、光伏、MEMS、光学加工等领域。