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中图仪器SuperViewW科研级三维白光干涉仪基于白光干涉原理，用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器SuperViewW光学平面度检测设备是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

中图仪器SuperViewW国产3D白光干涉仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，SuperViewW1国产自研白光形貌干涉仪具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

SuperViewW1白光干涉粗糙度仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能.

SuperViewW1中图仪器三维白光干涉仪用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，在半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。