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中图白光干涉仪设备具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。它以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，通过一个按键开关，可以选择三维轮廓仪使用探针扫描模式还是样品台扫描模式。广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。

中图仪器SuperViewW1白光干涉三维形貌仪是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器?？梢圆馐愿骼啾砻娌⒆远劢共饬抗ぜ袢?D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓，此外具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

SuperViewW3大尺寸白光干涉三维形貌仪具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能，其中表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别。是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。

SuperViewW1立式非接触白光干涉仪双通道气浮隔振系统设计，既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。

SuperViewW1微米级白光干涉仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器国内白光干涉仪的重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm。测件尺寸可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸。