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SuperViewW1白光干涉测厚仪是以白光干涉技术原理，对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

中图仪器SuperViewW1白光干涉仪性能参数Z向分辨率：0.1nm；Z向扫描范围：10.3mm；XY水平位移台：电动手动均可调节。有自动化功能：自动单区域测量、自动多区域测量、多区域定位自动搜索测量、自动拼接测量；防撞?；ぃ喝砑柚梅雷?、硬件传感器防撞。

中图仪器Chotest白光干涉仪SuperViewW1是利用光学干涉原理研制开发的超精细表面轮廓测量仪器，具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

SuperViewW1光学3D白光干涉仪?分辨率0.1μm，重复性0.1%，可为样品表面测量提供快速，便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数?？梢杂糜诓馐愿骼啾砻?。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于测试直至100%反射率的各类高反表面。

SuperViewW1白光测量光学干涉仪用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。可以测量可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

SuperViewW1白光干涉显微轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；以白光干涉技术为原理，可对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，从而实现器件表面形貌3D测量。能对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。