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VT6000共聚焦超高分辨率表面分析显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。