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PLR3000多自由度光纤激光尺分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。

中图仪器激光跟踪仪产品已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列，可以和多种形式的合作目标测头配合使用。

PLR3000微米级高精度光纤激光尺是新一代高精度位置检测设备，基于激光干涉测量原理，专为超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域设计。其突破性技术融合高稳定性氦氖激光光源与保偏光纤传输，支持单轴至多轴测量。

GTS精密三维坐标激光跟踪测量仪是已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列，可以和多种形式的合作目标测头配合使用。

PLR3000系列光纤激光干涉尺测量仪分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。

GTS中图仪器大尺寸激光跟踪测量仪具有测量范围大、精度高、功能多、可现场测量等优点，取代了大型固定式三坐标测量机、经纬仪、全站仪等许多传统测量设备，在设备校准、部件检测、工装制造与调试、集成装配和逆向工程等应用领域显示出高测量精度和效率，激光跟踪仪已成为大尺寸精密测量的主要手段。