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中图仪器SuperViewW光学平面度检测设备是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器?？刹飧骼啻映饣酱植凇⒌头瓷渎实礁叻瓷渎实奈锾灞砻?，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

中图仪器SuperViewW国产3D白光干涉仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸?？刹飧骼啻映饣酱植?、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

中图仪器NS系列亚埃级垂直分辨力台阶仪是一种接触式表面形貌测量仪器，可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。其采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。

中图仪器VT6000系列激光共聚焦3D显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。它基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像，从而进行分析的精密光学仪器，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

台阶仪高精度薄膜厚度与台阶高度测量软件包含多个?？?。500万像素高分辨率彩色摄像机，即时进行高精度定位测量?？梢越秸氲男蚊餐枷翊涞娇刂频缒陨?，使得测量更加直观。

除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，SuperViewW1国产自研白光形貌干涉仪具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。