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SuperViewW高分辨率3d白光干涉仪能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

在材料生产检测领域中，纳米材料表征共聚焦显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。它基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像。

SuperViewW1白光干涉技术3D测量轮廓仪是以白光干涉技术为原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能.

中图仪器VT6000共聚焦光学测量显微镜?是基于光学共轭共焦原理，以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

中图仪器SuperViewW白光干涉仪摩擦磨损形貌检测仪非接触式扫描测量各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器NS系列国产探针接触式台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，用于测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数。采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。