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NS系列探针式膜层厚度表面粗糙度台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。样品适应面广，对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求，数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。

VT6000太阳能电池片形貌共聚焦测量显微镜结合精密纵向扫描，在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点，从而重建出3D真彩图像进行分析。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器NS系列台阶厚度仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪，其采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在薄膜厚度的测量上具有很强的优势。

VT6000高分辨率显微镜共聚焦光学系统以转盘共聚焦光学系统为基础，基于光学共轭共焦原理，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成高精度测量系统。能在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像，从而进行分析。

中图仪器NS系列薄膜厚度台阶测量仪集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，具备超高的测量精度和测量重复性。它主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。

中图仪器SuperViewW纳米级高精度白光干涉测厚仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。