VT6000微纳米形貌测量共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理结合精密Z向扫描???、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。
中图仪器CEM3000微观形貌观测扫描电镜操作系统简便,使用过程简单快捷。样品一键装入,自动导航和一键出图能力(自动聚焦+自动消像散+自动亮度对比度)帮助用户在短短几十秒内就可获取高清图像,大大提升了使用效率。
NS系列接触式微观轮廓台阶测量仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
SuperViewW3D表面形貌白光干涉轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点。
中图仪器4nm高分辨率扫描电镜凭借空间分辨率出色和易用性强,用户能够非??旖莸亟懈飨畈僮?。甚至在自动程序的帮助下,无需过多人工调节,便可一键得到理想的拍摄图片。
SuperViewW白光干涉表面形貌3D轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。