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SuperViewW白光干涉测量膜厚仪器3D重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，测量精度可达亚纳米级别。不通倍率的镜头，适应于从超光滑到粗糙度各种表面类型的样品。

中图仪器SEM扫描电镜用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析。标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统，能满足用户对多类型样品的观测需求，实现微观的形貌和元素分析等。

CEM3000系列桌面式扫描电子显微镜标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统，能满足用户对多类型样品的观测需求，实现微观的形貌和元素分析等。

NS系列台阶薄膜测厚仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。采用线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。

CEM3000国产桌面扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备。不同于立式电镜，CEM3000系列台式扫描电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统，这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上，在用户手边实时呈现所得结果。

中图仪器VT6000转盘共聚焦光学成像系统以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统。一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。