形貌仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描?？椤?D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中?？刹飧骼啻映饣酱植?、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
形貌仪的产品特性：
1、高精度、高重复性
?、俨捎霉庋Ц缮婕际?、精密Z向扫描?？楹陀乓斓?D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；
②的隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中也能稳定使用，获得高测量重复性；
2、一体化操作的测量分析软件
?、俨饬坑敕治鐾缑娌僮鳎扌肭谢?，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；
②可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；
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?、芗负畏治?、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能?？槠肴?；
?、菀患治觥⒍辔募治?，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；
?、蘅刹庖谰軮SO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。
3、双重防撞?；ご胧?/div>
除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，保护仪器，降低人为操作风险。
4、精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
5、双通道气浮隔振系统
既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。
更新时间：2022-11-27
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三坐标测量仪
