形貌仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描?？?、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中?？刹飧骼啻映饣酱植?、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
形貌仪该如何进行日常的维护与保养呢？
首先：使用后要及时清理残渣。原则上，需要测量的样本是不需要特殊处理的，但是部分测试材料，例如木头、塑料甚至是人的皮肤、头发等等，都可能在测试台留下残渣。因此，在使用过后一定要及时的清理，保证形貌仪的测试台的整洁。
第二：测头是形貌仪的眼睛，如果发生损害或磨损，不能简单的维修就可以了，一定要及时更换，防止下次测量数据的时候产生的误差。失之毫厘谬以千里，一点小小的失误就可能对个人乃至整个工程造成严重的后果。
第三：定期保养，调试精度。形貌仪之所以能迅速占领市场，根本原因就在于它的测量速度快、度高。定期对它进行检视，调试精度，不但能减少误差，确保测量数据的准确，也有利于延长其使用期限，能在有限的时间内创造出无限的价值。
更新时间：2022-09-20
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三坐标测量仪
